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    在工業(yè)自動(dòng)化與精密制造領(lǐng)域，光柵對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是實(shí)現(xiàn)高精度加工與檢測(cè)的核心環(huán)節(jié)。德國安士能公司（Euchner）推出的AY-OS-LSR-156915光柵對(duì)準(zhǔn)輔助設(shè)備，憑借其較好的光學(xué)性能與人性化設(shè)計(jì)，成為激光加工、半導(dǎo)體制造及科研實(shí)驗(yàn)中精密工具。

一、產(chǎn)品核心技術(shù)與工作原理

AY-OS-LSR-156915基于莫爾條紋光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)位移測(cè)量。設(shè)備內(nèi)置標(biāo)尺光柵與讀數(shù)頭，當(dāng)兩者發(fā)生相對(duì)位移時(shí)，交叉光柵線紋產(chǎn)生明暗相間的干涉條紋。通過高精度光電傳感器捕捉條紋變化，系統(tǒng)可實(shí)時(shí)計(jì)算位移量，精度可達(dá)0.1μm。其雙光束冗余設(shè)計(jì)（2束光路）確保檢測(cè)可靠性，即使單束光路受阻，設(shè)備仍能正常工作。

設(shè)備支持透射式與反射式光柵自由切換，適應(yīng)不同安裝場(chǎng)景。透射式光柵將光源與接收裝置分置兩側(cè)，適合開放空間；反射式光柵則集成光源與接收器，適用于緊湊型設(shè)備。此外，設(shè)備采用蝸輪蝸桿微調(diào)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)比達(dá)100:1，用戶轉(zhuǎn)動(dòng)蝸桿100°即可實(shí)現(xiàn)光柵1°的精準(zhǔn)調(diào)整，告別傳統(tǒng)手工校準(zhǔn)的誤差困擾。

二、技術(shù)參數(shù)與性能優(yōu)勢(shì)

參數(shù)規(guī)格

光束數(shù)2束（冗余安全設(shè)計(jì)）

保護(hù)區(qū)域高度510 mm（覆蓋大面積檢測(cè)需求）

檢測(cè)范圍12 m（長距離安全監(jiān)測(cè)）

響應(yīng)時(shí)間≤3 ms（快速響應(yīng)障礙物）

工作電壓DC 24V ±20%（兼容工業(yè)電源）

電流400 mA（低功耗設(shè)計(jì)）

防護(hù)等級(jí)IP65/IP67（防塵防水，適應(yīng)惡劣環(huán)境）

環(huán)境溫度-30°C 至 55°C（寬溫工作范圍）

安全標(biāo)準(zhǔn)符合EN ISO 13849-1，性能等級(jí)PL c，安全完整性等級(jí)SIL 1

接口M12接插頭（5針發(fā)送器/8針接收器，支持熱插拔）

性能亮點(diǎn)：

抗振動(dòng)設(shè)計(jì)：金屬外殼與鋅合金齒輪箱組合，通過10g振動(dòng)測(cè)試（10-500Hz），確保工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)穩(wěn)定性。

溫度補(bǔ)償：內(nèi)置溫度傳感器，自動(dòng)修正光柵熱膨脹誤差（-30°C至55°C范圍內(nèi)精度波動(dòng)≤0.5μm）。

多軸聯(lián)動(dòng)：支持X/Y/Z三軸同步調(diào)整，通過PLC控制器可編程設(shè)定運(yùn)動(dòng)軌跡，適配復(fù)雜光路系統(tǒng)。

三、應(yīng)用場(chǎng)景與解決方案

工業(yè)自動(dòng)化

激光加工：在激光切割、焊接中，設(shè)備可實(shí)時(shí)校準(zhǔn)光束路徑，確保加工精度±0.01mm。

半導(dǎo)體制造：用于光刻機(jī)光路對(duì)準(zhǔn)，減少芯片缺陷率至0.001%以下。

機(jī)器人安全防護(hù)：檢測(cè)人員或異物進(jìn)入危險(xiǎn)區(qū)域，響應(yīng)時(shí)間≤30ms，遠(yuǎn)低于行業(yè)平均水平（50ms）。

醫(yī)療設(shè)備

手術(shù)機(jī)器人：輔助顯微外科手術(shù)中光學(xué)器械的精準(zhǔn)定位。

光學(xué)儀器校準(zhǔn)：用于內(nèi)窺鏡、顯微鏡的光路調(diào)試，提升診斷準(zhǔn)確性。

科研與測(cè)量

光譜分析：在光譜儀中校準(zhǔn)光柵角度，分辨率提升至0.01nm。

干涉儀校準(zhǔn)：配合ZEISS SPECTRUM三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌檢測(cè)。